クリーンルームの標準化

米国では、2001 年 11 月末まで、クリーンルームの要件を定義するために連邦規格 209E (FED-STD-209E) が使用されていました。2001 年 11 月 29 日、これらの規格は ISO 仕様 14644-1 の発行に置き換えられました。通常、製造または科学研究に使用されるクリーンルームは、ほこり、浮遊微生物、エアロゾル粒子、化学蒸気などの汚染物質のレベルが低い管理された環境です。正確には、クリーンルームは管理された汚染レベルを持ち、これは指定された粒子サイズの 1 立方メートルあたりの粒子数で指定されます。一般的な都市環境では、屋外の空気には 1 立方メートルあたり 3,500 万個の粒子が含まれており、これはクリーンルーム規格の最低レベルの ISO 9 クリーンルームに相当します。クリーンルームは、空気の清浄度に応じて分類されます。米国連邦規格 209 (A から D) では、1 立方フィートの空気中に含まれる 0.5mm 以上の粒子の数を測定し、この数を使用してクリーン ルームを分類します。このメートル法の命名法は、最新の 209E 版の規格でも採用されています。中国は連邦規格 209E を使用しています。新しい規格は、国際標準化機構の TC 209 です。両方の規格とも、実験室の空気中の粒子数に基づいてクリーン ルームを分類します。クリーン ルーム分類規格 FS 209E および ISO 14644-1 では、クリーン ルームまたはクリーン エリアの清浄度レベルを分類するために、特定の粒子数の測定と計算が必要です。英国では、英国規格 5295 を使用してクリーン ルームを分類しています。この規格は、まもなく BS EN ISO 14644-1 に置き換えられます。クリーン ルームは、空気の体積あたりに許容される粒子の数とサイズに従って分類されます。 「クラス 100」や「クラス 1000」などの大きな数字は FED_STD209E を参照し、空気 1 立方フィートあたりに許容される 0.5 mm 以上の粒子の数を表します。