クリーンルームの標準化

米国では、2001 年 11 月末まで、クリーン ルームの要件を定義するために連邦規格 209E (FED-STD-209E) が使用されていました。 2001 年 11 月 29 日、これらの規格は ISO 仕様 14644-1 の発行によって置き換えられました。通常、製造または科学研究に使用されるクリーン ルームは、粉塵、浮遊微生物、エアロゾル粒子、化学蒸気などの汚染物質が低レベルで管理された環境です。正確に言うと、クリーンルームには制御された汚染レベルがあり、これは指定された粒子サイズの 1 立方メートルあたりの粒子数によって指定されます。典型的な都市環境では、屋外の空気には直径 0.5 ミクロン以上の粒子が 1 立方メートルあたり 3,500 万個含まれており、これはクリーン ルーム基準の最低レベルの ISO 9 クリーン ルームに相当します。クリーンルームは空気の清浄度に応じて分類されます。米国連邦規格 209 (A ～ D) では、1 立方フィートの空気中に 0.5 mm 以上の粒子の数が測定され、この数はクリーン ルームの分類に使用されます。このメートル法命名法は、標準の最新バージョン 209E でも受け入れられています。中国は連邦規格 209E を使用しています。新しい規格は、国際標準化機構の TC 209 です。どちらの規格も、実験室の空気中の粒子の数に基づいてクリーン ルームを分類しています。クリーン ルーム分類規格 FS 209E および ISO 14644-1 では、クリーン ルームまたはクリーン エリアの清浄度レベルを分類するために、特定の粒子数の測定と計算が必要です。英国では、クリーン ルームの分類に英国規格 5295 が使用されています。この規格は間もなく BS EN ISO 14644-1 に置き換えられます。クリーンルームは、空気の体積あたりに許容される粒子の数とサイズに応じて分類されます。 「クラス 100」や「クラス 1000」などの大きな数字は FED_STD209E を指し、空気 1 立方フィートあたり許容される 0.5 mm 以上のサイズの粒子の数を表します。