クリーンルームの風速要件と空気の入れ替え

十分な換気量は、異なる清浄度要件に応じて、室内の汚染された空気を希釈して除去するために、クリーンルームネット高さが高いほど、換気回数を適切に増加させることができます。このうち、100万クリーンルームの換気量は高効率浄化システム[7]に基づいて検討され、残りは高効率浄化システムに基づいて検討されます。10万クラスのクリーンルームHEPAフィルターを機械室またはシステムの末端に集中配置すると、換気回数を10～20％適切に増加させることができます。

上記の換気量の推奨値の場合、著者は、一方向換気システムの室内セクションを通過する風速はフロークリーンルームは低く、乱流クリーンルームは安全率を十分考慮した推奨値です。垂直一方向流≥0.25m/s、水平一方向流≥0.35m/s、空の状態または静的検出の清浄度は要件を満たすことができますが、汚染防止能力が低く、室内が作業状態に入ると、清浄度が要件を満たさない可能性があります。このような例は個別ではありません。同時に、中国の換気扇シリーズはまだ浄化システムのファンに適しておらず、一般的な設計者はシステムの空気抵抗を正確に計算しないか、選択したファンがより好ましい作業点の特性曲線にあるかどうかに注意を払わず、システムがすぐに稼働すると、風量または風速が設計値に到達できません。米国連邦規格（FS209A～B）は、1987年10月27日以前に次のように規定されていました。クリーンルーム部を通過する一方向気流の気流速度は、通常90ft/分（0.45m/s）に維持され、室内全体に干渉がない状態では、速度均一性は±20%以内です。気流速度の著しい低下は、セルフクリーニング時間と作業位置の間の汚染の影響の可能性を高めます（1987年10月のFS209C公布以降、粉塵濃度以外のパラメータは規定されていません）。

このため、筆者は、国内の単方向流速の設計値を適切に上げることが適切であると考えており、当社ユニットも実際のプロジェクトでそのように実施しており、効果がより優れている。乱流式クリーンルームはより安全率に配慮した推奨値であるが、多くの設計者は具体的な設計を行う際に、10万レベルのクリーンルームの換気量を20～25回/hに、1万レベルでは30～40回/hに、1000レベルでは60～70回/hに増加させることにまだ確信が持てず、設備容量が増加し、初期投資も増加するだけでなく、将来の保守管理コストも増加するため、そうする必要はないと考えている。中国の空気清浄技術対策[7]を策定する際に、国内の100以上のクリーンルームを調査・測定し、多くのクリーンルームを動的条件下でテストした結果、10万級≥10回/時、1万級≥20回/時、1000級≥50回/時の換気量が要件を満たせることが示されました。米国連邦規格（FS209A〜B）では、非一方向フローのクリーンルーム（10万級、1万級）、部屋の高さが8〜12フィート（2.44〜3.66メートル）で、通常、少なくとも3分に1回（つまり、20回/時）部屋全体を考慮すると規定されています。そのため、設計仕様[6]の規定では、より大きな流入係数が考慮されており、設計者は換気量の推奨値に応じて安全に選択できます。