クリーンルームの風速要件と空気の入れ替え

十分な換気量は、さまざまな清浄度要件に従って室内の汚染された空気を希釈して排除するためのものです。クリーンルーム網の高さが高くなると、空気交換の回数が適切に増加します。このうち、クリーンルーム 100 万室の換気量は高効率浄化システム [7] に従って考慮され、残りは高効率浄化システムに従って考慮されます。 10万クラスのクリーンルーム用HEPAフィルターを機械室やシステムの末端に集中配置すると、換気回数を10～20％適切に増やすことができます。

上記の換気量の推奨値について、著者は一方向の室内セクションを通過する風速が次のとおりであると考えています。フロークリーンルームが低く、乱流クリーンルームはより安全率を高めた推奨値です。垂直一方向流れ≧0.25m/s、水平一方向流れ≧0.35m/s、空の状態または清浄度の静的検出では、要件を満たすことができますが、屋内が動作状態になると汚染防止能力が劣ります、清潔さが要件を満たしていない可能性がありますが、そのような例は個別のものではありません。同時に、中国の換気扇シリーズはまだファンの浄化システムに適していないため、一般的な設計者はシステムの空気抵抗を正確に計算していないことが多く、選択したファンが適切かどうかに注意を払っていません。より良好な動作点の特性曲線が変化するため、システムがすぐに動作を開始すると、風量または風速が設計値に達しなくなります。米国連邦規格 (FS209A~B) は、1987 年 10 月 27 日より前にそのように規定されています。クリーン ルーム セクションを通る一方向クリーン ルームの気流速度は、通常 90ft/min(0.45m/s) に維持されます。部屋全体で干渉がなく、速度均一性は±20%以内です。気流速度が大幅に低下すると、セルフクリーニング時間と作業位置の間で汚染の影響が生じる可能性が高くなります (1987 年 10 月の FS209C 公布以降、粉塵濃度以外のすべてのパラメータは規定されていません)。

この目的のために、著者は、一方向流速の現在の国内設計値を適切に増加させることが適切であると考えており、実際のプロジェクトではそうすることが効果がより良いと考えています。乱流型クリーンルームはより安全率の高い推奨値ですが、具体的な設計を行う際、クリーンルームの換気量が100,000レベルでは20～25回/h、10,000レベルでは換気量が20～25回/hまで増加するかどうか、多くの設計者はまだ確信を持っていません。 1000台では30～40回/h、1000台では60～70回/hに増加し、設備容量が増加するだけでなく初期投資も増加します。将来の維持管理コストも高くなりますが、その必要はありません。中国の空気清浄技術対策 [7] を準備する際、100 以上の国内クリーンルームを調査および測定し、多くのクリーンルームは依然として動的条件下でテストされ、その結果は 100,000 級の換気量が 10 回/h 以上であることを示しました。 10,000勾配≧20回/h、1000勾配≧50回/hであれば要件を満たすことができます。米国連邦規格（FS2O9A～B）では、非一方向流クリーンルーム（100,000クラス、10,000クラス）、部屋の高さ8～12フィート（2.44～3.66m）、通常少なくとも3分に1回は部屋全体を考慮することが規定されています（つまり 20 回/h)。したがって、設計仕様書[6]の規定ではより大きな豊かさ係数が考慮されており、設計者は換気量の推奨値に従って安全に選択することができます。