空調システムの二次還気方式

クリーンルーム面積が比較的小さく、戻り空気ダクトの半径が限られているマイクロ電子ワークショップでは、空調システムの二次戻り空気方式を採用していました。このスキームは以下でも一般的に使用されていますクリーンルーム製薬や医療などの他の業界でも。一般に、クリーンルームの温度湿度の要件を満たす換気量は、清浄度レベルに達するのに必要な換気量よりもはるかに少ないため、供給空気と戻り空気の温度差は小さくなります。一次還気方式を使用すると、供給空気状態点と空調ユニットの露点の温度差が大きくなり、二次加熱が必要となり、空気処理工程での冷熱オフセットが発生し、エネルギー消費量が増加します。 。二次還気方式を使用する場合、二次還気を一次還気方式の二次加熱の代わりに使用できます。一次および二次還気比の調整は二次熱の調整よりもわずかに感度が劣りますが、二次還気方式は中小規模のマイクロエレクトロニクスクリーンワークショップにおける空調エネルギー節約手段として広く認識されています。 。

ISO クラス 6 のマイクロエレクトロニクスのクリーン ワークショップを例に挙げます。クリーン ワークショップの面積は 1,000 平方メートル、天井の高さは 3 m です。内部設計パラメータは温度 tn=(23±1)℃、相対湿度 φn=50%±5%です。設計空気供給量は 171,000 m3/h、空気交換時間は約 57 h-1、外気量は 25,500 m3/h (うちプロセス排気量は 21,000 m3/h、残りは正圧漏れ空気量）。クリーン作業場の顕熱負荷は258kW(258W/m2)、空調機の熱湿度比ε=35,000kJ/kg、室内還気の温度差は4.5℃です。このときの一次戻り空気量は、
これは現在、マイクロエレクトロニクス産業のクリーンルームで最も一般的に使用されている形式の浄化空調システムであり、このタイプのシステムは主に 3 つのタイプに分類できます。マウ+アフ+フフ; MAU+DC（ドライコイル）+FFU。それぞれにメリット・デメリットや適した場所があり、省エネ効果は主にフィルターやファンなどの機器の性能に依存します。

1) AHU+FFU システム。

このタイプのシステムモードは、マイクロエレクトロニクス業界で「空調フェーズと浄化フェーズを分離する方法」として使用されています。 2 つの状況が考えられます。1 つは、空調システムが新鮮な空気のみを処理し、処理された新鮮な空気がクリーン ルームのすべての熱と湿度の負荷に耐え、排気と正圧漏れのバランスをとるための補助空気として機能することです。クリーンルームのこのシステムは、MAU+FFU システムとも呼ばれます。もう 1 つは、外気の量だけではクリーン ルームの冷気および熱負荷のニーズを満たすのに十分ではないこと、または外気が屋外状態から必要な機械の露点比エンタルピー差までに処理されるためです。 、室内空気の一部（戻り空気に相当）は空調処理装置に戻され、外気と混合されて温湿処理された後、給気プレナムに送られます。クリーンルームに残った戻り空気（二次戻り空気に相当）と混合してFFUユニットに入り、クリーンルーム内に送り込みます。 1992 年から 1994 年にかけて、この論文の 2 人目の著者はシンガポールの企業と協力し、10 人以上の大学院生を率いて米国と香港の合弁会社 SAE エレクトロニクス工場の設計に参加しました。換気システム。このプロジェクトには、約 6,000 平方メートル（うち 1,500 平方メートルは大気庁より委託）の ISO クラス 5 クリーンルームがあります。空調室は外壁に沿ってクリーンルーム側に平行に、かつ廊下にのみ隣接して配置されている。外気、排気、戻り空気のパイプが短く、スムーズに配置されています。

2) MAU+AHU+FFU スキーム。

このソリューションは、複数の温度と湿度の要件があり、熱と湿度の負荷に大きな差があるマイクロエレクトロニクス工場で一般的に見られ、清浄度レベルも高いです。夏には、新鮮な空気が冷却され、一定のパラメータ点まで除湿されます。通常、代表的な温度と湿度を持つクリーン ルーム、または最大の外気量を持つクリーン ルームの等尺エンタルピー線と 95% 相対湿度線の交点まで外気を処理するのが適切です。 MAU の空気量は各クリーン ルームの空気補充のニーズに応じて決定され、必要な外気量に応じてパイプで各クリーン ルームの AHU に分配され、室内の戻り空気の一部と混合されて加熱されます。そして湿気処理。このユニットは、クリーンルームのすべての熱と湿度の負荷と、新しいリウマチの負荷の一部に耐えます。各AHUで処理された空気は各クリーンルームの給気プレナムに送られ、室内の戻り空気と2次混合された後、FFUユニットによって室内に送られます。

MAU+AHU+FFU ソリューションの主な利点は、清浄度と正圧を確保することに加えて、各クリーン ルーム プロセスの生産に必要なさまざまな温度と相対湿度も確保できることです。しかし、AHUの設置台数が多いため、部屋の占有面積が大きくなり、クリーンルームの外気、還気、給気配管が縦横に交差し、広いスペースを占有し、レイアウトが煩雑になり、維持管理が難しくなる場合が多い。したがって、使用を避けるための特別な要件はできる限りありません。