電子機器製造クリーン ルームは、主に半導体、LCD ディスプレイ、プリント基板、その他の電子部品の生産に使用されます。これらの施設は通常、クリーン生産エリア、補助クリーンエリア、管理エリア、および設備エリアで構成されます。電子クリーンルームの清浄度レベルは、電子製品の品質に直接影響します。特定レベルの空気清浄度を維持し、制御された環境で一定の室内温度と相対湿度を確保するために、給気システムとファン フィルター ユニット (FFU) が使用されます。
電子クリーンルーム